【摘 要】
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本文用磁控溅射多层薄膜金属化法对氮化硅瓷不锈钢这两种热膨胀系数极不匹配的组合进行了封接研究,并获得了平均抗拉强度达140MPa,最高强度为160MPa的满意结果。本文主要介绍
【机 构】
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北京机电部十二所,北京机电部十二所,北京机电部十二所,北京机电部十二所,
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本文用磁控溅射多层薄膜金属化法对氮化硅瓷不锈钢这两种热膨胀系数极不匹配的组合进行了封接研究,并获得了平均抗拉强度达140MPa,最高强度为160MPa的满意结果。本文主要介绍工艺试验条件,以及用SEM和YPS对结合界面进行各种元素的分布、化学状态以及深度变化的研究,并对机理作了初步讨论。
In this paper, magnetron sputtering multi-layer thin film metallization of silicon nitride stainless steel two kinds of thermal expansion coefficient of the combination of the study did not match, and obtained the average tensile strength of 140MPa, the maximum strength of 160MPa satisfaction result. This paper mainly introduces the process conditions, the distribution of various elements by SEM and YPS, the chemical state and the variation of depth, and the mechanism is discussed.
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