论文部分内容阅读
基于多层膜优异的力学性能，采用磁控溅射法在316L不锈钢基体表面沉淀[Ti／TiB2]。（n=1，2，3）多层膜以增强TiB2薄膜的膜基结合强度。研究周期数对多层膜的结构、硬度及结合力的影响。结果表明：TiB：单层膜表现为（001）方向的织构。随着周期数的增加，多层膜的织构方向由（001）转变为（100）；多层膜的硬度从20GPa增加到26GPa，但略低于TiB2单层膜的硬度（33GPa）；相对于单膜的膜基结合力（9．5N），多层膜表现出较好膜基结合力，最大结合力可达24N。