【摘 要】
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薄膜厚度的ＥＤＳ测量赵家政徐洮（中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室，兰州７３００００）在电镀膜、真空蒸发膜、表面处理膜、溅射膜、润滑转移膜等的扫描电子显微分析中，除观察其表面
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室
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薄膜厚度的ＥＤＳ测量赵家政徐洮（中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室，兰州７３００００）在电镀膜、真空蒸发膜、表面处理膜、溅射膜、润滑转移膜等的扫描电子显微分析中，除观察其表面形貌外，还希望同时测得薄膜的厚度。薄膜厚度的测量，尽管有光学法［...
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