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采用表面压痕技术和CCD监测技术研究了PM2000 Fe-Cr-Al高温合金热生长氧化物陶瓷薄膜在压应力作用下的脱落行为.结果表明,表面压痕法产生的压痕周围裂纹区域面积和裂纹宽度可定性表征氧化物陶瓷薄膜附着能力,裂纹区域面积越大或裂纹越宽薄膜附着能力越差;采用CCD摄像技术可以测得氧化物陶瓷薄膜初试脱落温度及脱落区域的形貌、位置、面积等数据.为进一步理解氧化物陶瓷薄膜的脱落机制提供了更多的信息.