【摘 要】
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The worm-like AlN nanowires are fabricated by the plasma-enhanced chemical vapor deposition(PECVD)on Si substrates through using Al powder and N2 as precursors,CaF2 as fluxing medium,Au as catalyst,respectively.The as-grown worm-like AlN nanowires each ha
【机 构】
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InstituteofNewEnergyMaterialsandDevicesofFacultyofMaterialsandManufacturing
【基金项目】
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Project supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.11774017 and 51761135129).
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The worm-like AlN nanowires are fabricated by the plasma-enhanced chemical vapor deposition(PECVD)on Si substrates through using Al powder and N2 as precursors,CaF2 as fluxing medium,Au as catalyst,respectively.The as-grown worm-like AlN nanowires each ha
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