ALD反应腔分区加热控制

来源 :2015年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：newlinge

【摘要】

：

在原子层沉积系统(Atomic layer deposition) ALD的薄膜生长工艺流程中,关键部分在于对工艺腔室内部温度和压强的控制.由于ALD反应腔内部温度控制具有非线性、滞后性及时变性,本文通过对反应腔采取分区加热的方法,使用西门子TIA博途软件自带的具有抗积分饱和功能的PID控制器,加上前馈补偿PID控制算法,很好地解决了反应腔内温度均匀性这一问题.并通过实验实测数据和仿真,得出整个温

【作者】

：

杨宁余平狄芬芬

【机构】

：

上海电力学院自动化工程学院上海,200090

【出处】

：

2015年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会

【发表日期】

：

2015年3期

【关键词】

：

原子层沉积系统薄膜技术温度控制分区加热法 PID控制算法

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