论文部分内容阅读
微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真,通过仿真得到的结果和数据,对器件的整体结构和尺寸进行优化.
ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究
【摘 要】
：
微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热
【机 构】
：
吉林建筑大学电气与电子信息工程学院
【出 处】
：
吉林建筑大学学报
【发表日期】
：
2015年2期
其他文献
由于内外因素的共同作用,混凝土结构总是不可避免地会产生裂缝,结构裂缝会降低其承载能力、耐久及耐水性.本文主要围绕约束条件下基础混凝土的温度开裂等问题,阐述裂缝产生的
目前,国内常用的基础沉降的计算方法有分层总和法、规范法等,本文应用FLAC3D软件,分别在摩尔-库仑模型和弹性模型下,通过数值模拟得到z向位移值随深度的变化曲线,以及基底下
对紫铜管焊接接头零件的断裂从成分、金相、断口等方面做了综合分析.金相分析表明,裂纹萌生于紫铜管的内外壁表面,沿晶界向壁中心扩展.金相和能谱分析证实,断口附近紫铜管基
分析芳纶纤维加固钢筋混凝土梁的工作性能,本文共制定6根钢筋混凝土梁,并采用试验与有限元模拟相结合的方法,对芳纶纤维加固钢筋混凝土梁的基本力学性能进行对比分析,研究表
燃料电池发电是一种对环境无污染、高效率的发电技术.本文对燃料电池发电系统问题进行了详细地描述,其中对工作原理、结构、分类、应用和特点进行了重点阐述,为燃料电池的应
在独立学院的经济学课程教学中体现“以学生为中心”的教育理念，要转变教师角色，明确学生学习任务，制定“以学生为中心”的教学大纲和教学内容，充分利用互联网，注重实践教学，最大限