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微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真,通过仿真得到的结果和数据,对器件的整体结构和尺寸进行优化.
ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究
【摘 要】
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微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热
【机 构】
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吉林建筑大学电气与电子信息工程学院
【出 处】
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吉林建筑大学学报
【发表日期】
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2015年2期
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