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对1．5万t／a三氯氢硅装置进行了研究，包括开发背景、生产技术、工艺流程、注意事项、原料及动力消耗、安全与环保等。
1．5万t／a三氯氢硅生产装置研究
【摘 要】
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对1．5万t／a三氯氢硅装置进行了研究，包括开发背景、生产技术、工艺流程、注意事项、原料及动力消耗、安全与环保等。
【机 构】
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江西景德半导体新材料有限公司,河北金牛化工股份有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2010年6期
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