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本文论述了通过浅硼扩散、氧化退火处理、磷扩散、控制光刻工艺的套廖精度等工艺手段研制成功的光电二极管，其在蓝、紫光方面的光电特性具明显的优越性。
改进工艺手段提高色敏传感器蓝,紫光特性
【摘 要】
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本文论述了通过浅硼扩散、氧化退火处理、磷扩散、控制光刻工艺的套廖精度等工艺手段研制成功的光电二极管，其在蓝、紫光方面的光电特性具明显的优越性。
【出 处】
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电子机械工程
【发表日期】
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1998年4期
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