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采用磁控溅射法分别在150、250、400W功率下制备了3种锂离子电池用Sn薄膜负极材料。通过X射线衍射光谱法（×RD）、扫描电子显微镜法（SEM）、恒电流充放电对3种薄膜材料的结构、形貌及循环性能进行了表征。实验结果表明，随着溅射功率增加，薄膜的非晶成分减少，晶化加剧，颗粒粗化。在相同溅射时间20min的情况下，当溅射功率为250W时，获得的Sn薄膜电极具有最好的循环性能。首次嵌锂容量为653．8mAh／g，30次循环后容量维持在515mAh／g。容量保持率达79％。