论文部分内容阅读
为了实现车间球面镜片的半径偏差的在线无损检测，基于激光检测技术，提出了一种无需精密导轨的小型球面干涉仪系统的设计方案，并对整个系统的检测原理进行了分析。通过Zemax软件模拟的分析验证，该系统不仅可以测出球面面形的像散偏差和局部偏差，而且还可以快速测出球面镜的半径偏差，其演算测得的曲率半径精度优于0．01％。与目前已有的球面干涉仪相比较，具有系统结构紧凑、无精密导轨、操作效率高和低成本的特点，特别适用于车间的在线非接触检测。