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采用复合靶射频磁控溅射方法制备了ZnO／TiO2复合薄膜，对薄膜500℃退火处理2h。利用XRD和AFM对薄膜的晶体结构和表面微观形貌进行了表征，分析讨论了不同溅射时间下制备的薄膜的亲水性。结果表明：溅射时间为120min时制备的薄膜经过退火处理后，具有锐钛矿和金红石混晶结构，而且具备最佳的亲水性和光致亲水性。