论文部分内容阅读
综述了Ti-SiN超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对Si原子在Ti—Si—N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究，阐述了Si原子在Ti—Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si—N薄膜沉积过程中的形成机制，并展望了Ti—Si—N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向。
超高硬度纳米复合薄膜Ti—Si—N结构的研究进展
【摘 要】
：
综述了Ti-SiN超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对Si原子在Ti—Si—N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究，阐述了Si原子在Ti—Si-N中所形成的界面结构形式的
【机 构】
：
内蒙古科技大学机械工程学院
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
2012年2期
其他文献
以招标人提供的工程量清单为平台,投标人根据自身的技术、财务、管理能力进行投标报价,招标人根据具体的评标细则进行选优,这种计价方式是市场定价体系的具体表现.
大量研究表明，学习焦虑严重影响学习者的英语学习。本文分析了在英语教学中焦虑的种类、产生原因以及对英语教学和学习的影响。提出了减轻学生英语学习焦虑，提高英语教学质量的