【摘 要】
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本征石墨烯气体传感器(Gr器件)对NH_3气体的室温响应非常微弱,为此本文采用电子束蒸镀方法在原器件沟道区域分别沉积3 nm、5 nm和10 nm的薄层金属Ti,形成三种Ti/Gr器件。实验
【机 构】
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岭南师范学院信息工程学院,国家纳米科学中心
【基金项目】
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广东省自然科学基金项目(2018A030307016),广东省教育厅创新强校项目(2017KTSCX116),湛江市科技攻关计划项目(2014B01033)
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本征石墨烯气体传感器(Gr器件)对NH_3气体的室温响应非常微弱,为此本文采用电子束蒸镀方法在原器件沟道区域分别沉积3 nm、5 nm和10 nm的薄层金属Ti,形成三种Ti/Gr器件。实验发现Ti/Gr器件在黑暗条件下对NH3气体的室温响应灵敏度远高于Gr器件;而引入可见光照射使三种Ti/Gr器件的响应灵敏度进一步提高,同时恢复性也得到一定提升。其中,5 nm Ti/Gr器件获得最佳的性能提升,对通入3 min 400×10^-6 NH3的灵敏度达+17.9%,恢复时间为3 min。通过XPS
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