【摘 要】
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介绍了微空心阴极放电(microhollow cathode discharge,简称MHCD)的特点,根据MHCD的基本结构设计了-种新的放电结构:它由一个电源和一个可变电阻器构成'微空心阴极维持的
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室
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介绍了微空心阴极放电(microhollow cathode discharge,简称MHCD)的特点,根据MHCD的基本结构设计了-种新的放电结构:它由一个电源和一个可变电阻器构成'微空心阴极维持的辉光放电',MHCD作为放电的阴极,金属针作为放电的阳极.利用该放电结构进行了空气的放电实验,产生了高气压大体积高电流密度的辉光放电等离子体,用于工业上的多种等离子体加工中;如果用稀有气体放电则能够用来作为微型准分子激光器的增益介质.在200Torr气压下,获得了稳定的空气直流放电,等离子体中
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