【摘 要】
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本文以大行程、高精度衍射光栅位移测量系统为研究对象，提出了一种硬件计数与软件细分相结合的干涉条纹信号处理方法。运用交流调制技术对光栅信号进行处理，提高测量系统抗环境
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本文以大行程、高精度衍射光栅位移测量系统为研究对象，提出了一种硬件计数与软件细分相结合的干涉条纹信号处理方法。运用交流调制技术对光栅信号进行处理，提高测量系统抗环境噪声和抗直流偏移能力。使用FPGA对光栅信号进行硬件四细分，在此基础上对信号的交流部分进行滤波、检波处理后用于上位机软件细分，并对该方法引入的误差进行了分析和补偿。最后应用双频干涉测量系统进行了比对实验，其结果表明该方法能实现±0．30μm的精度。
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