【摘 要】
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为了提高窄带滤光膜的有效镀膜面积，用电子束与离子辅助沉积技术制备了大尺寸光通信滤光膜。利用离子束刻蚀原理修正膜层均匀性，研究了离子源参数对Ta2O5和SiO2两种材料膜层均匀性的影响；同时通过Macleod膜系设计软件对实验结果进行反演分析，改善了滤光膜通带波纹。最终制备的窄带滤光膜满足光通信技术要求，有效镀膜面积可达2 123 mm~2。
【基金项目】
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吉林省科技发展计划国际科技合作项目（No.20210402065GH）； 中国科学院青年创新促进会优秀会员（No.Y202053）;中国科学院国际伙伴计划（No.181722KYSB20200001）； 国家自然科学基金（No.11973040）～～；
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为了提高窄带滤光膜的有效镀膜面积，用电子束与离子辅助沉积技术制备了大尺寸光通信滤光膜。利用离子束刻蚀原理修正膜层均匀性，研究了离子源参数对Ta2O5和SiO2两种材料膜层均匀性的影响；同时通过Macleod膜系设计软件对实验结果进行反演分析，改善了滤光膜通带波纹。最终制备的窄带滤光膜满足光通信技术要求，有效镀膜面积可达2 123 mm~2。
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