【摘 要】
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本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石(100)、(110)、(111)晶面的气相外延生长的研究,对单晶外延生长条
【机 构】
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本文介绍了用微波化学气相沉积法,以丙酮、氢体系为研究对象,以 SDA级、毫米级人造金刚石单晶为基体,金刚石(100)、(110)、(111)晶面的气相外延生长的研究,对单晶外延生长条件进行了初步的探讨,使用RED、SEM、MLRS等检测手段,对生长的外延层进行检测。
In this paper, the vapor phase epitaxy of diamond (100), (110), (111) crystal planes using microwave chemical vapor deposition, acetone and hydrogen as the research object and SDA and mm diamond as the matrix Of the research, single crystal epitaxial growth conditions were initially discussed, the use of RED, SEM, MLRS and other detection methods, the growth of the epitaxial layer were detected.
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