【摘 要】
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湿度检测广泛应用于工业、医疗等各个领域，对高性能湿度传感器的需求日趋迫切。首先对卢表面波传感器敏感机理进行了深入的分析，得到影响其性能的主要因素。在此基础上研制出一
【机 构】
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浙江大学生物传感器国家专业实验室生物医学工程系
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湿度检测广泛应用于工业、医疗等各个领域，对高性能湿度传感器的需求日趋迫切。首先对卢表面波传感器敏感机理进行了深入的分析，得到影响其性能的主要因素。在此基础上研制出一种以多壁碳纳米管（MWCNTs）和N娟。。复合材料为湿敏膜，高频声表向波谐振器为换能元件的高性能湿敏传感器。实验表明，制得的湿敏传感器在宽湿度池闱内（10％RH～80％RH）具有很高的检测灵敏度（大于300kHz％RH），良好的线性度及快速的响应速度（〈10s）。并通过实验结果进一步讨论了复合材料中MwCNTs和Nation对传感器性能的影响。
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