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介绍了ＢＧ—１０２分步曝光机的承片台结构，并对其运动原理、精度及结构特点作了分析。
BG—102型分步曝光机承片台结构分析
【摘 要】
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介绍了ＢＧ—１０２分步曝光机的承片台结构，并对其运动原理、精度及结构特点作了分析。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所;
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1999年01期
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