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分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能.
水环式真空泵在直拉单晶炉上的应用
【摘 要】
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分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能.
【机 构】
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浙江大学机械厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年3期
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