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测定了离子束辅助沉积TiN，CrN薄膜的纳米压入硬度（Hnano值）、维氏显微硬度（Hv值）和努氏显微硬度（HK值）。结果发现，HK值比Hv值更接近于Hnano值，相对较为准确。膜的厚度（t）越薄，三种方法测得硬度值差别越大；膜的厚度越厚，差别越小。随着膜的厚度增加，Hk值和Hv值逐渐接近Hnano值。t≈5．0μm时，Hv≈HK≈Hnano对于硬膜软基体模型，如果膜厚〉5．0μm，可以采用显微硬度计较为准确地测量薄膜硬度；膜厚〈5．0μm时，应避免使用显微硬度法而采用纳米压入法。