【摘 要】
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针对光镊系统本身噪声对测量精度的影响,提出了一种光镊系统随机漂移误差的有效补偿方法.首先,介绍了时间序列分析法和卡尔曼滤波技术,基于时间序列分析法建立了光镊的随机漂
【机 构】
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中国科学技术大学光学与光学工程系,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
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针对光镊系统本身噪声对测量精度的影响,提出了一种光镊系统随机漂移误差的有效补偿方法.首先,介绍了时间序列分析法和卡尔曼滤波技术,基于时间序列分析法建立了光镊的随机漂移误差模型;然后,用基于时间序列模型的卡尔曼滤波方法来减小该漂移误差.采用提出的方法对光镊设备实测数据的误差进行了补偿,结果表明：数据的误差方差由补偿前的188.90 nm2减小为8.41 nm2.计算补偿前后的艾伦方差可知,系统在平均时间为1 s时可使最小位移误差从0.7 nm降低到0.1 nm.得到的结果显示：提出的滤波方法有效地抑制了光镊
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