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利用导电原子力显微镜(AFM)在硅、其它半导体和金属表面的电场诱导氧化加工是实现纳米器件的有效方法.大气状态下样品表面吸附的水膜在电场诱导氧化加工中的必要性被证实，实验给出了相对湿度与氧化线宽度的关系.在氢钝化硅表面成功地制备出纳米尺度的线和图形结构，最小的线宽为22nm.
利用AFM电场诱导氧化实现纳米结构
【摘 要】
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利用导电原子力显微镜(AFM)在硅、其它半导体和金属表面的电场诱导氧化加工是实现纳米器件的有效方法.大气状态下样品表面吸附的水膜在电场诱导氧化加工中的必要性被证实，实验
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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2001年2期
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