大面积CVD金刚石膜的热铁板抛光

来源 :北京科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cj304465902

【摘要】

：

研制成功国内第1台大面积CVD金刚石膜热铁板抛光机．它可以在10Pa真空条件下，加热到1 100℃；抛光台可以在0～10 r/min间实现无级调速，一次完成3片110 mm的金刚石膜的抛光．金刚石膜在9

【作者】

：

刘敬明蒋政张恒大吕反修唐伟忠

【机构】

：

北京科技大学材料科学与工程学院

【出处】

：

北京科技大学学报

【发表日期】

：

2001年1期

【关键词】

：

CVD金刚石膜热铁板抛光化学气相沉积法石墨化碳原子扩散抛光速率化学抛光 CVD diamond films thermo-chemical pol

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

研制成功国内第1台大面积CVD金刚石膜热铁板抛光机．它可以在10Pa真空条件下，加热到1 100℃；抛光台可以在0～10 r/min间实现无级调速，一次完成3片110 mm的金刚石膜的抛光．金刚石膜在980℃，2 h抛光的结果表明该装置有良好的抛光效果．金刚石膜在980℃抛光不同时间的Raman谱表明，金刚石热铁板抛光是金刚石石墨化和C原子不断扩散的过程．

其他文献

非等辊距平行压下矫直的计算机优化与仿真

提出了非等辊距矫直的概念，并应用新的矫直理论对九辊矫直机非等辊距矫直方案进行优化，通过计算机仿真来分析几种辊距排列方案的优劣及其特点．

期刊

非等辊距矫直矫直理论计算机优化计算机仿真辊距排列九辊矫直机相对压下量unequal-roller-distance straightening

浇注温度对AlSi7Mg合金显微组织的影响

研究了不同的浇注温度对铸造AlSi7Mg合金凝固组织的影响．实验表明：当浇注温度接近液相线温度时，AlSi7Mg合金中的初生α-Al凝固成球状或粒状，晶粒细小，分布均匀；获得球状或粒状AlSi7

期刊

铝合金半固态浇注温度凝固显微镜组织液相线温度平均冷却速度初生α-铝组织aluminum alloy semi-solid pouring t

套管接头螺纹滑脱失效有限元模拟

套管螺纹接头必须满足结构完整性，用能考虑螺纹接触边界存在大变形和大滑移条件的有限元程序，对套管螺纹接头滑脱失效影响参数进行了有限元模拟．模拟结果表明：螺纹锥度大小对滑脱

期刊

滑脱失效有限元模拟套管螺纹接头油田固井螺纹接触边界变形滑移casing thread connection thread off failure

冷连轧机的动态变规格过程的计算机仿真

针对某厂的5机架冷连轧机的动态变规格过程进行仿真研究.首先建立其动态变规格时的仿真系统,分析了其动态变规格过程的实现方案.然后在此基础上对其变规格过程进行了仿真分析

期刊

冷连轧机动态变规格过程计算机仿真冷连轧稳态轧制仿真系统系统结构FGC simulation tandem cold rolling

模糊—积分控制器在水处理过程中的应用

设计了一种具有积分环节的模糊控制器,并由西门子S7200系列PLC实现. 将模糊积分控制器应用于反渗透水处理设备中,结果证明可实现水处理过程电导率实时自动控制,提高了反渗透

期刊

模糊-积分控制器水处理过程PLC水处理控制电导率反渗透工艺回用浓水流量Fuzzy-Integral control PLC water tre

电力工业的非参数效率测度分析

对资源优化配置的非参数模型在电力工业中的应用进行了研究.选择了国内部分电网的数据,从纯技术效率、规模效率以及投入可处置度、投入组合效率、投入综合效率的角度对部分电

期刊

非参数效率测度非参数模型效率分解电力工业资源配置技术效率测度投入效率non-parametric estimation method effic

D113弱酸交换树脂的水力学特性试验

研究D113弱酸树脂在以自来水为进水条件下,不同流速、不同温度对树脂压力降、反洗展开率和沉降速度的影响规律.结果认为水流速越大,温度越低,树脂层水流阻力越大;反洗流速越

期刊

弱酸树酯压力降反洗展开率沉降速度交换树脂水力学特性exchange resin pressure fall expanding rate of

分层物体制造临界分离角的提出与应用

通过对分层物体制造工业应用关键技术及废料分离机理的分析讨论，首次提出临界分离角的概念，阐述了应用临界分离角的废料网格划分方法．应用临界分离角理论划分废料网格可从根本上

期刊

快速造型分层物体制造临界分离角废料分离机理网格划分方法成型工艺RPM (Rapid Prototyping Manufacturing) LOM(

OPTO22控制系统热备技术研究

为使OPTO 22控制系统实现控制器热备份,需要解决主控制器与备份控制器之间的连接组织、数据交换、故障识别和自动切换等一系列问题.根据实践提出解决方案,对OPTO22控制系统的

期刊

OPTO22控制系统热备主控制器智能板备份控制器分布式I/O控制系统automatic backup controller brick

大面积CVD金刚石膜的热铁板抛光

其他学术论文