溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究(英文)

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溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO)。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响。AZO薄膜呈(002)择优生长的纤维锌矿六角形结构的多晶相。0.5%和1%Ag掺杂的薄膜在可见光波长区域光学透过率在70%~80%之间,随着Ag掺杂浓度的升高平均透过率有所降低。5%Ag掺杂的ZnO薄膜经空气中700℃退火后出现两条发射光谱带,经He气氛中退火后UV发射光谱显著增强,并且可见光发射光谱随之消失。
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