【摘 要】
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基于MEMS技术设计了一种新型结构的微型热导检测器。选择了高电阻率、高温度系数的热敏元件，以四臂直通式作为结构模型，并对结构器件材料的热耗散性能进行仿真分析，采用热损耗最
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基于MEMS技术设计了一种新型结构的微型热导检测器。选择了高电阻率、高温度系数的热敏元件，以四臂直通式作为结构模型，并对结构器件材料的热耗散性能进行仿真分析，采用热损耗最小的聚酰亚胺作为绝热层，以微加工工艺为基础完成了微型热导检测器的制作。实验结果表明，该新型热导检测器测量体积分数85%的标准气体时最大误差为0.068%，相比传统的热导检测器灵敏度提高约25%。
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