MEMS结构的实体建模和分析

来源 :今日电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户：crackerking

【摘要】

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实体建模工具帮助MEMS设计人员简化设计流程并最大限度地利用有限元分析软件.相关的掩膜定义给MEMS设计人员提供了更强大的设计能力,使得设计人员能够专注于3D中微米级的结构

【出处】

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今日电子

【发表日期】

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2003年7期

【关键词】

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MEMS 实体建模集成电路制造业有限元工具软件 3D可视化结构设计 So1idWorks 3D 亚微米特性配置管理关联掩膜热分析静态分析静电分析

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实体建模工具帮助MEMS设计人员简化设计流程并最大限度地利用有限元分析软件.相关的掩膜定义给MEMS设计人员提供了更强大的设计能力,使得设计人员能够专注于3D中微米级的结构,而且使得掩膜遵从设计.

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