【摘 要】
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TP271.4 2002010799微光机电系统及其应用=Micro - opto - electro -mechanical system and its application[刊,中]/李文军,赵小林,蔡炳初,戴旭涵(上海交通大学微纳米科学技
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TP271.4 2002010799微光机电系统及其应用=Micro - opto - electro -mechanical system and its application[刊,中]/李文军,赵小林,蔡炳初,戴旭涵(上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室.上海
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