准分子激光制备纳米金刚石薄膜装备通过论证

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国家“863”科技攻关项目—准分子激光制备纳米金刚石薄膜装备,1月23日在牡丹江市通过国家科委论证。由牡丹江光电技术研究所提出的准分子激光制备纳米金刚石薄膜装备项目,是在该所成功地研制出世界第一台500W级高功率旋转开关准分子激光器的基础上,运用激光PVD方法,制备出 National “863” scientific and technological project - excimer laser preparation of nano-diamond film equipment, January 23 in Mudanjiang City through the National Science and Technology Commission demonstration. The Mudanjiang Institute of Optoelectronic Technology proposed by the excimer laser nano-diamond film equipment project is the successful development of the world’s first 500W-class high-power rotary switch excimer laser based on the use of laser PVD method to prepare
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