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探讨了X射线荧光光谱定量分析中超轻元素的处理方法.在用de Jongh-Norrish方程进行定量分析时,对通常不能用X射线荧光光谱直接测定的超轻元素作为消去组分处理以计算理论α系数,然后再以100%减去测量组分和已知组分浓度总和的方法来获得较为准确的分析结果.用此法分析了铌酸钾锂晶体中的Li2O和两种含硼玻璃中的B2O3,分别得到了与等离子体发射光谱法和化学滴定法相符的结果,其中B2O3的结果优于文献报道的散射系数法和直接测定法的结果.