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随着电力电子技术的发展，对高品质低阻高寿气相掺杂区熔硅单晶的需求越来越紧迫．欧关主要国家的气相掺杂区熔硅单晶生长技术已经趋于成熟，而我国还处于起步阶段。主要从理论方面分析气相掺杂过程PH3进入晶体中的方式和过程，并对掺入量的计算过程进行了详细说明。
气相掺杂区熔硅单晶的掺杂剂量计算方法研究
【摘 要】
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随着电力电子技术的发展，对高品质低阻高寿气相掺杂区熔硅单晶的需求越来越紧迫．欧关主要国家的气相掺杂区熔硅单晶生长技术已经趋于成熟，而我国还处于起步阶段。主要从理论方面
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年10期
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