【摘 要】
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最近几年,金刚石由于具有出色的物理性能和化学性能,除了期待它在工具、研磨材料上的应用之外,还期待它在半导体材料、光学材料、热沉、音响材料等方面得到应用,特别是现在
【机 构】
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大阪大学工学部,同学部大学院,同学部,同学部 受聘研究员 岛津制作所,产业机械事业部开发课,博士课程,助手 工学博士,教授 理学博士
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最近几年,金刚石由于具有出色的物理性能和化学性能,除了期待它在工具、研磨材料上的应用之外,还期待它在半导体材料、光学材料、热沉、音响材料等方面得到应用,特别是现在能用气相合成法很容易制成多晶金刚石薄膜,这些方面的应用研究也就更进一步了。把金刚石薄膜用作这样的材料时,除了高速成膜之外,需要大面积、均匀成膜。本文叙述的
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