【摘 要】
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本文对MEMS硅压阻式压力传感器进行了相应理论的分析,并对其优缺点进行了论述。通过对微压力传感器芯片的探索,提出了一种新型结构:四岛平膜结构。运用仿真软件对四岛平膜型
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本文对MEMS硅压阻式压力传感器进行了相应理论的分析,并对其优缺点进行了论述。通过对微压力传感器芯片的探索,提出了一种新型结构:四岛平膜结构。运用仿真软件对四岛平膜型微压力传感器芯片进行了静力学分析。通过分析应力和形变平面云图及沿特定的路径分布图,发现该结构在边缘四边中点位置处出现应力的极大值,同时在芯片的四个凸起中间部位应力出现了明显的应力集中效应。将电阻放置在应力集中的区域,使其构成一个惠斯通全桥,可获得最大的电压输出。形变极大值远远小于传感器有效膜片的厚度,本文设计的传感器芯片的线性度良好。
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