THE SENSITIVITY OF Pt/InP SCHOTTKY BARRIER DIODE TO H_2 AND O_2

来源 :Journal of Electronics(China) | 被引量 : 0次 | 上传用户:Tianxudong
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Gas sensitivity of Pt/InP Schottky barrier diode was characterized by I-V, C-V and complex impedance under different gas phase composition. The results show that the barrier height decreased when the device was exposed to a hydrogen-containing atmosphere, and the barrier height increased in an oxygen-containing atmosphere. The sensing mechanism was analyzed. Gas sensitivity of Pt / InP Schottky barrier diode was characterized by IV, CV and complex impedance under different gas phase composition. The results show that the barrier height decreased when the device was exposed to a hydrogen-containing atmosphere, and the barrier height increased in an oxygen-containing atmosphere. The sensing mechanism was analyzed.
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