【摘 要】
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采用多靶位真空阴极电弧离子镀技术在1Cr17Ni2不锈钢表面沉积抗冲蚀TiN/ZrN多层膜,利用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、冲刷试验机和中性盐雾试验机等对多层膜的结构及性能进
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院,中国南方航空工业集团有限公司
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采用多靶位真空阴极电弧离子镀技术在1Cr17Ni2不锈钢表面沉积抗冲蚀TiN/ZrN多层膜,利用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、冲刷试验机和中性盐雾试验机等对多层膜的结构及性能进行研究.结果表明:所制备的TiN/ZrN多层膜厚度为5.24μm,膜层与基体结合力为55N,显微硬度为HK2026.6;多层膜对不锈钢基体起到了良好的防护作用,耐90°攻角冲刷砂量为50g,耐中性盐雾腐蚀96h无腐蚀,336h抗腐蚀性能大于9级.
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