【摘 要】
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主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
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主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
Mainly introduces a lithography projection lens temperature compensation control principle and control algorithm. According to the requirements of system structure, object characteristic and process index, an intelligent linear-fuzzy controller is adopted, and excellent dynamic and steady-state performance is obtained.
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