【摘 要】
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在有限元模型基础上，运用 ANSYS软件对阴极真空电弧沉积系统中阴极表面磁场分布以及传输导管内部磁场进行了模拟计算，研究了阴极表面附近磁场分布对于电弧稳定性和等离子体输运
【机 构】
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教育部射线束技术与材料改性重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(10975020);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20110003120010);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012LYB24)
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在有限元模型基础上，运用 ANSYS软件对阴极真空电弧沉积系统中阴极表面磁场分布以及传输导管内部磁场进行了模拟计算，研究了阴极表面附近磁场分布对于电弧稳定性和等离子体输运效率的影响。计算和试验结果表明，调节阴极后部的永磁铁至合理位置以及在阳极筒外侧加聚焦线圈两项措施均能够改变阴极表面磁场分布。而对阴极表面磁场的合理优化有利于电弧稳定，并能极大地提高等离子体传输效率，对于提高沉积效率具有重要意义。
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