一种快速测定CVD金刚石膜磨耗比的方法

来源 :河北省科学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanyuan814606754
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报道了CVD金刚石膜磨耗比的一种简易快速测量方法。该方法通过测量金刚石膜被磨耗的体积来求得磨耗比。其优点是不使用微量分析天平,因而降低了对实验环境条件的要求,省去了烘干和称重两项工序。测试快速简便,通过与质量法对比,所得数据比较准确可信。
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