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本文拟从测量系统、不稳定度与测量结果这两个方面介绍我院测量不稳定度为Ｕ９９≤（０．０２＋０．２Ｌ）μｍ的一等量块光波干涉测量。
0.5～100毫米一等量块的光波干涉测量
【摘 要】
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本文拟从测量系统、不稳定度与测量结果这两个方面介绍我院测量不稳定度为Ｕ９９≤（０．０２＋０．２Ｌ）μｍ的一等量块光波干涉测量。
【机 构】
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中国测试技术研究院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2000年10期
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