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在航空航天及武器系统中,传感器承受很大的冲击,这就要求传感器具有很高的抗高过载能力。文中在原有基础上对复合量程微加速度计中的高低量程模块进行抗高过载设计的优化。试验测得优化后的结构能够抗20000g,能够有效地满足高过载高冲击环境的要求。
复合量程MEMS加速度计抗高过载的优化设计
【摘 要】
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在航空航天及武器系统中,传感器承受很大的冲击,这就要求传感器具有很高的抗高过载能力。文中在原有基础上对复合量程微加速度计中的高低量程模块进行抗高过载设计的优化。试
【机 构】
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中北大学电子测试国家重点实验室
【出 处】
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弹箭与制导学报
【发表日期】
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2012年05期
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