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离子辅助淀积技术是目前一种新颖的真空镀膜技术,它的发展历史不长,但已经受到各方面的关注。离子辅助镀膜在光学工业中的推广应用,将使薄膜制备技术进入一个新的发展阶段。
离子辅助镀膜
【摘 要】
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离子辅助淀积技术是目前一种新颖的真空镀膜技术,它的发展历史不长,但已经受到各方面的关注。离子辅助镀膜在光学工业中的推广应用,将使薄膜制备技术进入一个新的发展阶段。
【机 构】
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上海机械学院; 上海机械学院;
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1990年04期
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