论文部分内容阅读
一、扫描隧道显微术的特点与进展 自从1933年德国Ruska和Knoll等人在柏林制成第一台电子显微镜后,几十年来,有许多用于表面结构分析的现代仪器先后问世,如透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、场电子显微镜(FEM)、场离子显微镜(FIM)、低能电子衍射(LEED)、俄歇谱仪(AES)、光电子能谱(ESCA )、电子探针等。这些技术在表面科学各领域的研究中起着