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关于MEMS结构疲劳特性的研究报道中，典型的研究疲劳的方法是基于观测裂纹的产生和扩展的，如一种扇型梳壮驱动器用来产生循环的拉压作用，以此可以观察Si梁结构的裂纹的扩展情况。该方法采用渐变参量的方法来描述疲劳现象，如参量平均杨氏模量E，而且提出了一种利用检测电容来达到疲劳特性描述的测试结构。该电容和由于作用力让梁产生的位移之间有关。通过检测到的电容值，计算平均杨氏模量E以此来反映这种简单的MEMS结构的疲劳特性，最后，这种方法通过ANSYS进行验证。