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考虑晶圆加工过程中的多品种和与次序相关的换模时间约束,以系统总完工时间最小为优化目标,建立混合流水车间MOJ调度模型.在此基础上,提出了基于作业-产品-机器三层析取网络流的列生成算法.为进一步改善列生成算法存在的尾效应,将基于次梯度优化的拉格朗日松弛算法嵌入列生成算法框架中,构建了采用双重迭代的改进型列生成(MCG)算法.最后,通过理论分析和仿真实验表明了MCG算法是有效、可行的.