高性能InP基谐振腔增强型长波长光探测器

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chianbean

【摘要】

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介绍了目前实现高性能InP基谐振腔型(RCE)长波长光探测器的几种方案.采用InP-空气隙DBR结构、正入射光、响应波长为1550nm的高灵敏度、高速InP基长波长RCE光探测器,在1510nm

【作者】

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黄永清黄辉王琦王兴妍周震任晓敏

【机构】

：

北京邮电大学

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

谐振腔增强型光探测器空气隙选择性湿法刻蚀 resonant cavity enhanced （RCE） photodetector air gap

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介绍了目前实现高性能InP基谐振腔型(RCE)长波长光探测器的几种方案.采用InP-空气隙DBR结构、正入射光、响应波长为1550nm的高灵敏度、高速InP基长波长RCE光探测器,在1510nm波长处获得了59%的量子效率,在器件台面面积仍很大的情况下(50μm×50μm),获得了8GHz的3dB响应带宽.

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