【摘 要】
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本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统，该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜，一个作为测量元件，另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号，因而测量元件可以
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本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统，该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜，一个作为测量元件，另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号，因而测量元件可以暂时移出光路，能够进行同轴度的测量。系统的光学设计使激光光束的平漂和角漂不影响测量结果，对激光的漂移有自适应性。两束干涉光基本符合共光路原则，因而对大气湍流、空气扰动的影响具有更强的适应性，可用于长距离直线度、同轴度的测量。该系统与ＨＰ５５２８双频激光干涉仪在２７ｍ的长导轨上进行了测量直线度的比对实验及挡光实验。比对实验结果表明，该系统在测量精度及稳定性上不低于ＨＰ５５２８。挡光实验表明，该系统挡光后，数据能够自动恢复，可用于同轴度的测量。
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