基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wh13499599

【摘要】

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实验研究了基于AlAs／InxGa1-xAs／GaAs共振隧穿二极管（RTD）的振荡器的压力-频率转换特性，实验结果表明：该特性具有良好的线性特征，且其线性灵敏度达到0．84kHz／MPa．利用此压力-频率转换特

【作者】

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张文栋王建薛晨阳熊继军张斌珍仝召民

【机构】

：

中北大学电子测试技术国家重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

RTD振荡器压力-频率特性 GAAS 悬臂式声传感器 RTD oscillator pressure-frequency gaAs cantilever

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实验研究了基于AlAs／InxGa1-xAs／GaAs共振隧穿二极管（RTD）的振荡器的压力-频率转换特性，实验结果表明：该特性具有良好的线性特征，且其线性灵敏度达到0．84kHz／MPa．利用此压力-频率转换特性，首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构，实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成．

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