类金刚石碳膜(DLC)的制备和性能及其在工具和模具中的应用

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类金刚石碳膜(DLC)有极优良的性能,与金刚石膜(DF)类似.已有很多的应用.简介了DLC膜的结构,性能,实用的制备方法及其在工具和模具等领域中的应用.
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