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光电行业产生的废磷酸蚀刻液具有强腐蚀性,属危险废物,如果不合理回收处理,将会造成资源浪费,环境污染,进而威胁人类的安全。文章选取深圳某光电企业废磷酸蚀刻液为原料,进行萃取除杂实验。经过一级萃取,反萃实验,多级回用研究,探索得到一个磷酸回收除杂效果较佳的技术方案。研究结果表明,磷酸三丁酯/N235/DT-100萃取体系中三者体积比为4∶1∶5,相比为1∶1,萃取时间为10 min时为较优的萃取条件,磷酸回收率为93.80%,硝酸去除率为82.65%;萃取剂具有重复处理废磷酸蚀刻液的能力。